真空壓力傳感器的精度如何保證？

要保證真空壓力傳感器的精度，可從以下方面入手。

首先，在高真空度控制系統中，采用上游控制模式，在分子泵全速抽氣條件下，通過精密調節微小進氣流量來實現。此系統主要包括冷阻真空計、微量進氣調節裝置和真空壓力控制器，構成閉環控制系統，其精度決定最終控制精度。微量進氣調節裝置由電動針閥、泄漏閥和壓力調節器組成，可實現微小進氣流量調節，壓力調節器和電動針閥的控制采用高精度的雙通道真空壓力 PID 控制器。

其次，低真空度控制系統需分別采用上游和下游兩種控制模式。在低真空的 0.01~10Torr 范圍內，采用 10Torr 量程的電容真空計，通過動態改變電動針閥的開度來調節進氣流量，并增加壓力調節器保證進氣壓力穩定。在 10~760Torr 范圍內，固定電動針閥開度，通過改變電動球閥的開度調節排氣流量。同樣采用高精度的雙通道真空壓力控制器，要求電動針閥和電動球閥響應速度快。

對于正壓壓力控制，采用集成式動態平衡法壓力調節器和串級控制方法，由壓力調節器、壓力傳感器和真空壓力控制器構成雙閉環控制回路，采用相應精度和量程的壓力傳感器和調節器可實現高精度控制。

此外，在真空壓力控制中，傳感器和電氣比例閥的精度涉及非線性、遲滯、重復性和靈敏度等概念。非線性常用最小二乘法或終端基線線性度測量，用滿量程輸出的百分比表達。重復性包括可重復性和不可重復性誤差，一般精度聲明中的重復性指短期可重復誤差。遲滯誤差通常表示為機械遲滯和溫度遲滯的組合，通過比較壓力增減過程中相同點的輸出信號計算。分辨率是傳感器感受被測量小變化的能力，靈敏度是電壓輸出量對壓力輸入量變化的比值，一般靈敏度越高，分辨率越好，但測量范圍可能變窄，穩定性變差。

在選擇壓力傳感器和電氣比例閥時，要確定整體精度，不同制造商組合精度因素的方法不同，有的簡單相加，有的用數學方程。同時要考慮總誤差，包括可調誤差、精度和溫度效應。

而真空壓力傳感器的工作原理基于“彈性變形”，包括空氣感應器和成形活塞，感應壓力變化并轉化為信號。其廣泛應用于汽車發動機控制系統，與其他傳感器協同工作，實現對發動機的精確控制，還能輔助診斷和解決發動機運行問題。為防止傳感器故障，要保持真空線路通暢，檢查連接牢固，避免碰撞和及時檢測維護發動機系統。不同應用領域對真空環境要求不同，需選擇適合的傳感器類型和規格，并與數據采集或控制系統配合使用。